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KITZ開(kāi)滋 半導(dǎo)體用零內(nèi)容積手動(dòng)隔膜閥 專為低壓力高純度氣體管路設(shè)計(jì),核心采用零死區(qū)結(jié)構(gòu),閥門(mén)關(guān)閉時(shí)死區(qū)較常規(guī)款減少 86%,實(shí)現(xiàn)氣體置換特性,有效避免殘留污染。閥體選用 SUS316L 不銹鋼,搭配高純度密封材質(zhì),帶強(qiáng)制提升功能,可防止隔膜真空封閉、提升開(kāi)啟速度,且提升部件支持自行更換。適配半導(dǎo)體、制藥、分析儀器、LCD/LED 生產(chǎn)等對(duì)氣體純度要求嚴(yán)苛的行業(yè)。
日本KITZ 1/4 寸零死區(qū)真空兼容高純隔膜閥 專為高純氣體場(chǎng)景設(shè)計(jì),采用 316L EP 級(jí)不銹鋼材質(zhì),搭配 VFC 真空兼容 + 卡套連接方式。產(chǎn)品縮小閥門(mén)死區(qū),大幅提升氣體置換特性,真空兼容結(jié)構(gòu)可強(qiáng)制提升隔膜,防止真空封閉并加快開(kāi)閥速度,支持自行更換提升部。90 度手柄操作便捷,高氣密性且無(wú)顆粒物產(chǎn)生,工作壓力 0.98MPa (G)、耐溫 - 10~80℃,廣泛適配半導(dǎo)體等。
日本KITZ開(kāi)滋 高純度氣體外螺紋手動(dòng)隔膜閥 是一款專為高純度氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)的手動(dòng)零死區(qū)隔膜閥,1/4 英寸 CVC 外螺紋連接,標(biāo)配 EP-316L 不銹鋼電解拋光材質(zhì),適配 0.5MPa 常壓工況。產(chǎn)品大幅縮小閥門(mén)關(guān)閉時(shí)的死區(qū)體積,氣體置換特性優(yōu)異,提升部可強(qiáng)制提隔膜,防真空封閉且加快開(kāi)啟速度。支持用戶自行更換提升部,維護(hù)便捷,多層隔膜實(shí)現(xiàn)零泄漏密封,輕量化設(shè)計(jì)操作簡(jiǎn)便,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏。
開(kāi)滋KITZ 原裝 超高純流體控制隔膜閥 ?專為超高純液體(如半導(dǎo)體 TEOS)控制設(shè)計(jì)。內(nèi)部流道 Ra≤0.125μm,確保流體純度。核心優(yōu)勢(shì)為用戶可自行更換閥座與隔膜,顯著降低維護(hù)成本。技術(shù)參數(shù):1/4“ F-CVC 連接,Cv 值 0.23,工作壓力 0.98MPa,工作溫度 - 10℃至 80℃。符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn),適配半導(dǎo)體、FPD、LED 等精密制造,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)流量控制與零泄漏。
日本KITZ半導(dǎo)體光伏用低顆粒超高純隔膜閥 是半導(dǎo)體、光伏制程專用低顆粒超高純氣體控制閥門(mén),閥體采用 EP 級(jí)電解拋光 316L 不銹鋼,經(jīng)高等級(jí)潔凈環(huán)境制造與內(nèi)面研磨,防顆粒性能優(yōu)異。產(chǎn)品采用緊湊直通設(shè)計(jì),極小化內(nèi)部容積,實(shí)現(xiàn)氣體置換性,搭配專屬密封結(jié)構(gòu),大幅提升密封、耐腐與脫氣性能。1/4“VCR 連接,工作壓力 0.98MPa,適配各類超高純工藝氣體,是精密制造領(lǐng)域超高純流體傳輸?shù)目煽窟x擇。
日本KITZ隔膜閥低顆粒超高純氣體系統(tǒng)適配 專為低顆粒超高純氣體系統(tǒng)與半導(dǎo)體用 TEOS 等高純液體材料設(shè)計(jì)。閥體為 EP 級(jí)電解拋光 SUS316L 不銹鋼,內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.4μm,確保超高純流體控制。獨(dú)特密封機(jī)制實(shí)現(xiàn)氣密性、耐久性與吹掃性能,適配嚴(yán)苛潔凈工藝。用戶可快速更換密封圈,無(wú)需專業(yè)工具,大幅降低維護(hù)成本與停機(jī)時(shí)間。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏等行業(yè)。
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