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中村供貨：日本USHIO牛尾投影式光刻機UX-4440SC 高解析度：采用專業(yè)開發(fā)的高輸出燈以及光學(xué)技術(shù)設(shè)計的投影鏡片，能夠?qū)崿F(xiàn)高效率的高解析度曝光，可滿足精細(xì)圖案的光刻需求。

中村供貨：日本USHIO牛尾投影式光刻機UX-44101SC 高解析度：采用專業(yè)開發(fā)的高輸出燈以及光學(xué)技術(shù)設(shè)計的投影鏡片，能夠?qū)崿F(xiàn)高效率的高解析度曝光，可滿足精細(xì)圖案的光刻需求。

日本USHIO牛尾MIKASA光刻機M-1S 操作方式與對準(zhǔn)精度：屬于手動操作、接觸式對準(zhǔn)曝光機，使用對物鏡 20× 時，對準(zhǔn)精度 < 1.2μm，能夠較為精確地將掩模上的圖案對準(zhǔn)到晶圓或基板上，保證圖案轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。

日本USHIO牛尾MIKASA光刻機M-2LF 操作方式與對準(zhǔn)精度：屬于手動操作、接觸式對準(zhǔn)曝光機，使用對物鏡 20× 時，對準(zhǔn)精度 < 1.2μm，能夠較為精確地將掩模上的圖案對準(zhǔn)到晶圓或基板上，保證圖案轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。

日本USHIO牛尾MIKASA光刻機MA-60F 操作方式與對準(zhǔn)精度：屬于手動操作、接觸式對準(zhǔn)曝光機，使用對物鏡 20× 時，對準(zhǔn)精度 < 1.2μm，能夠較為精確地將掩模上的圖案對準(zhǔn)到晶圓或基板上，保證圖案轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。

日本USHIO牛尾MIKASA光刻機MA-20 操作方式與對準(zhǔn)精度：屬于手動操作、接觸式對準(zhǔn)曝光機，使用對物鏡 20× 時，對準(zhǔn)精度 < 1.2μm，能夠較為精確地將掩模上的圖案對準(zhǔn)到晶圓或基板上，保證圖案轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。