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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE200的特點(diǎn)

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE200的特點(diǎn)抽速大：最大抽速可達(dá)3300L/min，能快速抽取氣體，可滿足半導(dǎo)體、光電顯示等行業(yè)苛刻工藝對真空效率的高要求。極限壓力低：極限真空度低至1.3Pa，在不使用氮?dú)獯祾叩那闆r下也能維持高性能穩(wěn)定運(yùn)行，可提供高真空度環(huán)境。干式運(yùn)行：采用無油結(jié)構(gòu)，避免了油污染風(fēng)險(xiǎn)，特別適用于潔凈室環(huán)境和對純度要求高的工藝。結(jié)構(gòu)可靠：垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積，延長泵體使用壽命，提高了運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性。耐腐蝕性強(qiáng)：配備高耐腐蝕材料與溫...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特點(diǎn)

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特點(diǎn)抽速大：最大抽速可達(dá)1500L/min，能快速抽取氣體，可滿足半導(dǎo)體、光電顯示等行業(yè)苛刻工藝對真空效率的高要求。極限壓力低：極限真空度低至1.3Pa，在不使用氮?dú)獯祾叩那闆r下也能維持高性能穩(wěn)定運(yùn)行，可提供高真空度環(huán)境。干式運(yùn)行：采用無油結(jié)構(gòu)，避免了油污染風(fēng)險(xiǎn)，特別適用于潔凈室環(huán)境和對純度要求高的工藝。結(jié)構(gòu)可靠：垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積，延長泵體使用壽命，提高了運(yùn)行的穩(wěn)定性和可靠性。耐腐蝕性強(qiáng)：配備高耐腐蝕材料...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特點(diǎn)

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特點(diǎn)大抽氣速率：抽氣速率為58L/s，最大抽速可達(dá)1300L/min，能夠快速有效地抽取氣體，適用于需要大排量抽氣的應(yīng)用場景，如大尺寸晶圓和FPD基板的處理。節(jié)能：屬于節(jié)能型產(chǎn)品，功率為1.3kW，相比傳統(tǒng)類型可降低54%的功耗，通過參數(shù)優(yōu)化，在保證性能的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了能源的有效利用。極限壓力低：極限壓力可達(dá)57Pa，能提供較高的真空度，滿足對真空環(huán)境要求較高的工藝需求。耐用性強(qiáng)：SDE-X系列注重在惡劣工藝條件下的耐用性，采用耐腐蝕...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特點(diǎn)

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH6000的特點(diǎn)工藝耐性強(qiáng)：屬于SDH系列，具有SuperHirsch對應(yīng)和工藝耐性的特點(diǎn)，能適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境。無油干式設(shè)計(jì)：采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，可避免介質(zhì)污染，適用于超潔凈工藝環(huán)境，如半導(dǎo)體晶圓制造等。氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾吖δ?，氮?dú)饬髁靠稍?至80SLM范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，增強(qiáng)工藝靈活性。抽氣能力強(qiáng)：最大抽速可達(dá)60,000L/min，極限壓力為0.5Pa，能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。高效節(jié)能：通過新型加熱器系統(tǒng)...

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特點(diǎn)

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特點(diǎn)工藝耐性好：屬于SDH系列，具有SuperHirsch對應(yīng)和工藝耐性的特點(diǎn)，能適應(yīng)各種復(fù)雜工藝環(huán)境。無油干式設(shè)計(jì)：采用無潤滑油機(jī)械結(jié)構(gòu)，可避免介質(zhì)污染，適用于如半導(dǎo)體晶圓制造等超潔凈工藝環(huán)境。氮?dú)獯祾吖δ埽褐С值獨(dú)獯祾吖δ?，氮?dú)饬髁靠稍?至80SLM范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，增強(qiáng)了工藝靈活性。抽氣能力較強(qiáng)：最大抽速可達(dá)30,000L/min，極限壓力為0.5Pa，能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場景的真空需求。高效節(jié)能：通過新型加熱器系...

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